Фокусированный ионный пучок (ФИП, англ. Focused ion beam, FIB) – это методика, аналогичная растровой электронной микроскопии, но использующая сфокусированный пучок ускоренных ионов вместо электронов, при этом разрешающая способность прибора составляет около 5 нанометров. ФИП может быть как дополнением к растровому электронному микроскопу (двулучевая система), так и отдельным прибором.

По сравнению с РЭМ, контраст изображений, полученных этим методом, более чувствителен к ориентации кристаллической решетки и элементному составу образца, однако работа ионного пучка возможна только в высоком вакууме. ФИП позволяет также производить локальное травление и напыление материалов с микро- и нано-метровой точностью.

 

Применение:

  • Получение изображений высокого разрешения
  • Микроструктурные исследования
  • Нанопрототипирование
  • Подготовка образцов для просвечивающей электронной микроскопии