Сканирующий рентгеновский фотоэлектронный спектрометр (СРФЭС, англ. X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS) – инструмент для элементного и химического анализа поверхности образца с разрешением в несколько атомных слоев по глубине и до 10 микрометров по поверхности образца. Метод применяется для исследования поверхности металлов, полупроводников, диэлектриков, органических материалов, вообще любых образцов, совместимых с высоким вакуумом. Есть возможность профилирования по глубине, за счет контролируемого травления поверхностных слоев ионами аргона. Главная задача метода – исследование тонких пленок и профилирование по глубине в атомном масштабе.

Применение:

  • Анализ поверхности
  • Профилирование поверхностных слоев по составу с точностью до атомных слоев
  • Определение элементного состава поверхности образца с локальностью до 10 мкм по поверхности и 1 нм по глубине
  • Анализ химических связей между элементами
  • Построение карт распределения элементов и химических связей по поверхности
  • Профилирование элементного и химического состава по глубине