Цель работы.

Знакомство с принципом работы растрового электронного микроскопа. Юстировка микроскопа. Отработка первоначальных навыков по получению изображений объектов в различных режимах.

Аннотация.

Растровая электронная микроскопия – важный этап в исследовании материалов и разработке технологий различных отраслей науки и техники. Для получения высококачественных изображений в растровом электронном микроскопе необходимы знания устройства прибора, принципов формирования изображения в электронном микроскопе и принципов взаимодействия электронного зонда с различными материалами. Современный растровый электронный микроскоп, как правило, снабжен несколькими детекторами для решения специфических задач. Подпор параметров прибора необходим для получения качественных изображений при работе с различными материалами. Для получения более полной информации о исследуемом образце необходим химический анализ. В электронном микроскопе это реализуется, например, с помощью системы энергодисперсионного анализа. Применение такой системы дает возможность получать не только данные в выбранной точке, области, но и вдоль выбранной линии. Возможно получение карт распределения элементов (картирование).

В ходе работы предполагается освоение принципов работы растрового электронного микроскопа, юстировки и получения изображения различных образцов. Кроме этого предполагается освоение методики анализа элементного состава с помощью системы энергодисперсионного анализа.

Экспериментальная база.

Работа проводится на растровом электронном микроскопе Philips XL-30 c энергодисперсионным детектором EDAX. Подготовка непроводящих образцов осуществляется с помощью напылительной установки SPI.

Дни Тема План Примечание Время, мин
1 РЭМ Знакомство с микроскопом Устройство, принцип действия. 90
Включение, установка образца
Пользовательский интерфейс
Перерыв Чай, кофе 30
Работа  с эл. колонной, получение  изображения Базовые настройки, оптимизация изображения 90
Типы детекторов и их применение ETD,BSED
Сохранение информации. Измерения.
Обед 60
Практика 90
Перерыв Чай, кофе 30
Практика 90
Выключение прибора .Ответы на вопросы
2 Итоги, практика Практика . 90
Перерыв Чай, кофе 30
Практика  90
Обед 60
Практика  90
Перерыв Чай, кофе 30
Практика .Ответы на вопросы  Применение  полученных знаний и навыков на своих образцах 90
3 МРСА Включение прибора 90
Основы МРСА
Программа EDAX Интерфейс программы
Перерыв Чай, кофе 30
Получение и анализ спектра 90
Картирование
Обед 60
Практика 90
Перерыв Чай, кофе 30
Зачёт по курсу Тест по теории 90
Тест по практике

Калькулятор обучения на оборудовании ООО "СМА"

Цена не определена

Демонстрация работы приборов