Цель работы.

Освоение методики приготовления поперечных срезов для исследования микроструктуры и химического состава материалов. Изготовление микрорельефа на поверхности образца.

Аннотация.

Недавно разработанный метод фокусировки ионных пучков позволяет не только получать высококачественные изображения микроструктуры материала, но и изготовлять поперечные объектов исследования. Совмещение ионного и электронного пучка в одном приборе позволяет более полно и быстро исследовать материалы, получать электронно- и ионно-микроскопические изображения поперечных сечений и проводить его химический микроанализ. Становится возможным получать 3-х мерную информацию о структуре и химическом составе исследуемых материалов. Кроме этого стало возможным быстрое приготовление образцов поперечных срезов, полученных в области, выбранной с высокой точностью, достаточно тонкой для дальнейшего исследования в просвечивающем электронном микроскопе. Работа знакомит слушателей с основными возможностями двухлучевого микроскопа Quanta 3D FEG и метода фокусированного ионного пучка.

В процессе работы предполагается освоение метода исследования материалов с помощью фокусированного ионного пучка (ФИП), совместного использования ФИП и электронного зонда, методик изготовление поперечных срезов материалов.

Экспериментальная база.

Работа проводится на установке Quanta 3D FEG (FEI, США). Quanta 3D FEG - это многофункциональный растровый электронный микроскоп с интегрированной системой фокусированного ионного пучка для диагностики и исследований различных материалов в лабораторных условиях.