14
Декабрь
2015

Доклад СМА был посвящен важности роли современной аналитической лаборатории при проведении исследований на разных этапах проектирования и производства. В докладе широко освещены возможности современного аналитического оборудования СМА, использующего в своей работе взаимодействие электронных и ионных пучков с образцом. Также был показана возможность объемного мультимасштабного исследования микро- и наноструктур, а также наноматериалов, используемых, в том числе, при производстве полупроводниковых структур.