Сканирующий микроскоп Quanta 600 FEG, с естественной средой, ускоряющее напряжение от 200В до 30кВ, катод с полевой эмиссией, разрешение <2,0 нм при 30кВ в режимах высокого вакуума, низкого вакуума, естественной среды и <3,5 нм при 3кВ в режиме низкого вакуума. Размер камеры 379 мм, 10 портов для установки детекторов и анализаторов. 5-и осевой моторизованный столик 150х150 мм.