Двулучевой растровый электронный микроскоп FEI  Helios G4
Двулучевой растровый электронный микроскоп FEI Helios G4

Прецизионная двухлучевая система Helios G4 обладает несколькими модификациями, позволяющими сконфигурировать и адаптировать систему под самые сложные задачи для высокоточных исследований или обеспечения производства. Получаемые двух и трехмерные изображения изучаемых объектов могут быть дополнены информацией о химическом составе, подготовке образцов для просвечивающей микроскопии, а также модификацией поверхности и нанопрототипированием.

Технология электронной колонны Elstar FESEM обеспечивает наилучшую детализацию объектов в нанометровом диапазоне. Новейшие ионные колонны, использующие ионы галлия (Ga), или плазменная колонна с ионами ксенона (Xe) обладают выдающимися характеристиками и максимальной плотностью луча, даже на малых токах. Система детектирования микроскопов серии Helios состоит из трех детекторов, расположенных внутри электронной колонны, обеспечивая непревзойденный материальный и топографический контрасты.

Показать полностью
Основные характеристики
Диапазон тока пучка
от 1 пА до 400 нA
Ускоряющее напряжение
Электроны 20 В - 30 кВ
Ионы - 0,1 пA - 65 нA
Показать полностью
Свернуть