В то время как режим низкого вакуума особенно полезен для исследования и характеризации непроводящих и сильно загрязненных материалов, конфигурация данной системы также сводит к минимуму сложности в приготовлении образцов для получения и анализа изображений без накопления заряда. Inspect S также обладает повышенным разрешением в режиме высокого вакуума, тем самым представляя собой гибкую систему высокой производительности для работы с разными объектами.

Высокий и стабильный ток пучка в сочетании с оптимизированной геометрией рабочей камеры и четырёхосным моторизованным эвцентрическим столиком наклона образца делает этот прибор отлично приспособленным для автоматизированного кратковременного и долгосрочного энерго-диспрсионного (EDS/ЭДА) и волнового (WDS/ ДСДВ) анализа, а также анализа методом дифракции отраженных электронов (EBSD/ДОЭ) и получения карт распределения химических элементов. Превосходное разрешение этой системы позволяет с легкостью осуществлять детектирование легких элементов при малых энергиях пучка.