Verios — это передовое семейство сканирующих электронных микроскопов FEI второго поколения с высочайшей в мире разрешающей способностью. Этот прибор обеспечивает субнанометровое разрешение в диапазоне ускоряющих напряжений от 1 до 30 кВ. Его непревзойденная работа при низких ускоряющих напряжениях обеспечивает получение чрезвычайно точных данных о структуре поверхности, недоступных при использовании других методов.

Основные характеристики
Ток зонда
от 0,8 пА до 100 нA
Диапазон энергий электронов у поверхности образца
20 эВ – 30 кэВ
Поле зрения
от ≤ 100 нм до 1,5 мм
Количество портов
21
Показать полностью
Свернуть