Оже-спектрометры
Оже - спектрометры
Метод Оже-электронной спектроскопии (ОЭС) является неразрушающим методом анализа, который позволяет определять элементный состав поверхностного слоя на глубине в несколько молекулярных слоев (несколько нанометров), что превосходит по разрешению метод РФЭС. Образец облучается первичными электронами, которые, сталкиваясь с электронами внешней оболочки материала образца, вызывают ионизацию атома. При переходе атома в нижнее энергетическое состояние могут возникать так называемые, оже-электроны. Оже-электроны покидают поверхность образца, при этом кинетическая энергия электронов определяется строением атома, который этот электрон покинул. Так, при анализе распределения оже-электронов по энергиям получается спектр, состоящий из оже-пиков, характеризующих состав поверхности образца. В комбинации с ионным травлением можно определять элементный состав материала на глубине несколько микрон.
Одна из разновидностей метода – растровая оже-спектроскопия (РОС) – позволяет получить пространственное распределение элементного состава в виде изображения в оже-электронах. Такой результат достигается сканированием электронного пучка по поверхности образца и последующем анализе энергий эмитированных оже-электронов. Проводя травление поверхности образца ионным пучком с одновременным проведением оже-электронного анализа можно получить график распределения элементов состава тонких пленок по глубине (профильный анализ).
Традиционные области применения ОЭС – изучение процессов сорбции и десорбции на поверхностях твердых тел, коррозии, явлений, происходящех при поверхностном гетерогенном катализе, контроль за чистотой поверхности в различных технологических процессах. Растровые оже-спектрометры используются также и в микроэлектронике, например, для выявления причин отказа различных элементов микросхем.
Области применения Оже-электронных спектрометров:
Исследование полупроводников
- Микроскопические дефекты
- Оксиды
- Диффузия
- Очистка поверхности
- Эпитаксиальные слои
- Контакты
- Металлизация
Материаловедение
- Адгезия
- Коррозия
- Трение и смачивание
- Загрязнение поверхности
- Дефекты
- Оксиды
- Силициды
